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SF6氣體質量流量控制器的環境要求

更新時間:2023-12-22      點擊次數:355
SF6氣體質量流量控制器是基于流場動態計量技術,通過測量氣體密度和瞬時流量計算氣體的質量流量,然后根據設定值調節流量控制閥門的開度,從而實現質量流量的精確控制。
在SF6氣體質量流量控制器中,氣體通過流量計進入測量腔體,測量腔體中裝有傳感器,可以進行壓力、溫度、流量、密度等參數的測量。這些參數直接影響了氣體密度的計算,而氣體密度的準確計算是控制質量流量的關鍵。測量系統完成數據采集和處理后,將流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
SF6氣體質量流量控制器的環境要求包括以下幾點:
1.溫度:SF6氣體質量流量控制器的工作環境溫度應保持在-20℃~50℃之間,避免溫度過高或過低對控制器的工作性能產生影響。
2.濕度:環境濕度應保持在相對濕度≤90%RH,避免濕度過高導致控制器內部結露,影響其正常工作。
3.清潔度:環境應保持清潔,避免灰塵、雜質等進入控制器內部,影響其正常工作。
4.通風:如果工作環境中有大量SF6氣體,應保持良好的通風,避免氣體濃度過高導致中毒或爆炸等危險。
5.避免振動:應避免將控制器安裝在振動較大的環境中,以避免振動對其正常工作產生影響。
 
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